一种冲击加速度传感器的研究

作     者：朱目成 

作者机构：西南科技大学 机电工程及自动化学院四川绵阳621002 

基　　金：中国工程物理研究院基金项目资助!(98030413) 

出 版 物：《兵工自动化》 (Ordnance Industry Automation)

年 卷 期：2001年第20卷第1期

页      码：48-49页

摘      要：介绍了一种周边固支圆形膜片硅压阻式冲击加速度计的工作原理和结构，以及硅膜片尺寸与传感器输出的计算关系，冲击加速度传感器的电阻设计，及其器件的制作工艺流程。通过冲击试验，证明了该加速度传感器在高加速度作用下的实用性。

主 题 词：压阻式传感器 加速度计 冲击实验 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-1576.2001.01.014

馆 藏 号：203258389...