一种适于快速OPC的精确光刻胶剖面仿真算法

作     者：王国雄 史峥 付萍 陈志锦 严晓浪 

作者机构：鞍山钢铁学院电子与信息工程学院辽宁鞍山114002 浙江大学超大规模集成电路设计研究所浙江杭州310027 华东地质学院信息工程系江西抚州344000 

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (6 0 176 0 15 ) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2002年第32卷第3期

页      码：168-171页

摘      要：光刻仿真工具是描述实际工艺的有效工具。利用光刻仿真工具 ,能够准确地描述由掩模制造工艺、光刻胶曝光、显影、蚀刻所引起的光学邻近效应和畸变所导致的关键尺寸的变化。利用了改进的空间图像仿真及可变光强阈值模型来获得准确的硅片图形。改进的空间图像的基本思想是 ,用空间图像与一个高斯滤波器进行卷积 ,从而使图像较原来变得模糊 ,以此来模拟光刻胶的实际扩散效应。描述了一种适用于快速光学邻近校正 ( OPC)

主 题 词：精确光刻胶剖面仿真算法 光学邻近校正 光刻仿真 高斯滤波器 集成电路 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-3365.2002.03.003

馆 藏 号：203258495...