α-SiC/α-Si PIN异质结集成型全色色敏元件的研究

作     者：徐重阳 王长安 周雪梅 邹雪城 赵伯芳 

作者机构：华中理工大学固体电子学系武汉430074 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：1992年第20卷第5期

页      码：47-52页

摘      要：本文研究一种新型a-SiC/a-Si PIN异质结集成型全色色敏元件的制备工艺和结构,详细讨论了色敏元件的优化设计以及响应特性、暗电流等性能。实验结果表明,由于采用宽带隙的a-SiC窗口层和分离反应室的PECVD工艺,使色敏元件的灵敏度和暗电流特性得到了明显改善。

主 题 词：非晶硅 异质结 设计 色敏元件 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203259445...