微机械虚拟运行的实现框架

作     者：谭宜勇 赵新 卢桂章 

作者机构：南开大学机器人与信息自动化研究所天津300071 

基　　金：国家自然科学基金 (69985006 60173061) 国家十五 863计划(200 2AA422200 2002AA43 10 3 0) 国家 973计划"集成微光机电系统"项目(G19990 3 3 10 9) 教育部高等学校骨干教师资助计划 天津市自然科学基金资助项目 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2003年第40卷第7期

页      码：31-35页

摘      要：简要论述了虚拟运行在MEMS设计系统[1,2 ] 中的重要性 ,引入了动态运动规律和数学库的概念 ,提出了在单机多任务系统上 ,以事件发生时间推进的机制 ,带有多个运动部件及其运动规律的微机械系统虚拟运行实现框架。并结合静电微马达和双金属驱动微流量泵为例 ,分析了虚拟运行中数学库的组织 ,动态运动规律的产生过程以及三维可视化的实时问题 ,所提出并采用的实现框架适用于微马达[3] 、微泵[4 ] 、微加速度计[5]

主 题 词：微电子机械系统 虚拟运行 动态运行规律 数学库 多任务系统 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.009

馆 藏 号：203259706...