300mm硅片高精度真空传输系统设计

作     者：李学威 何书龙 赵治国 LI Xue-wei;HE Shu-long;ZHAO Zhi-guo

作者机构：沈阳新松机器人自动化股份有限公司沈阳110168 

基　　金：国家科技重大专项02专项(2014ZX02103005) 

出 版 物：《组合机床与自动化加工技术》 (Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique)

年 卷 期：2017年第8期

页      码：80-84页

摘      要：文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手,大气机械手采用R-θ型机械手,其重复精度均为±0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统,利用光电对射传感器,实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析,得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求,验证了设计的合理性。

主 题 词：硅片传输 真空腔室 机械手 纠偏检测系统 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13462/j.cnki.mmtamt.2017.08.020

馆 藏 号：203260643...