声表面波驱动的微混合器

作     者：何希文 李以贵 吕曈 蔡金东 黄毅 He Xiwen;Li Yigui;Lü Tong;Cai Jindong;Huang Yi

作者机构：上海应用技术大学理学院上海201418 上海应用技术大学机械工程学院上海201418 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51405303) 上海应用技术大学协同创新平台资助项目(3921NH166019) 上海应用技术大学毕业设计重点资助项目(1011XQ171087) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2017年第54卷第10期

页      码：671-676页

摘      要：基于声表面波(SAW)驱动机理设计并仿真了一种微混合器,制备了由4个谐振频率为49.1 MHz的铜叉指式换能器(IDT)构成的SAW驱动的微混合器(IDT采用剥离工艺制备,使用的基片材料为128°YX型铌酸锂,每个IDT有5个叉指对,周期为80μm,指条宽度为5μm,指条厚度为1.6μm),搭建了基于SAW微混合器驱动的微混合平台,实现了3μL甘油与1μL墨水两种液滴间的混合以及3μL蒸馏水液滴和平均直径为1.5μm的红色微粒之间的混合。实验结果证明,在驱动功率为9 W、驱动频率为49.13 MHz的电信号激励下,SAW微混合器可实现液滴间以及液滴和微粒间在1 s内的高速混合,并且液滴内部运动与其位于SAW微混合器的位置有关。

主 题 词：声表面波(SAw) 剥离工艺 叉指结构 微混合器 液滴 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2017.10.004

馆 藏 号：203260913...