基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究

作     者：郭向楠 苑伟政 王军平 虞益挺 孟庆超 乔大勇 Guo Xiangnan;Yuan Weizheng;Wang Junping;Yu Yiting;Meng Qingchao;Qiao Dayong

作者机构：中国空空导弹研究院河南洛阳471009 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室西安710072 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室西安710072 

基　　金：中航产学研创新基金(CXY2012XG12) 

出 版 物：《航空兵器》 (Aero Weaponry)

年 卷 期：2017年第24卷第4期

页      码：75-79页

摘      要：设计一种基于FR-4材料的电磁驱动微扫描镜,进行了有限元仿真,并利用标准PCB技术制作了器件。测试结果表明,器件具有约0.015(°)/m A的静态转角,在50~500 Hz驱动频率下光学转角始终大于±2°,在360 Hz处达到最大±34.18°,同时反馈电压与扫描角度具有良好的线性关系。器件通过了高低温及寿命试验,其可靠性得到了验证。

主 题 词：FR-4 微扫描镜 电磁驱动 有限元仿真 性能测试 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.1929X/j.cnki.41-1228/tj.2017.04.013

馆 藏 号：203262102...