测试设备位姿失调对自准直仪法测量圆分度误差的影响

作     者：田留德 赵建科 王涛 赵怀学 段亚轩 刘朝晖 TIAN Liu-de;ZHAO Jian-ke;WANG Tao;ZHAO Huai-xue;DUAN Ya-xuan;LIU Zhao-hui

作者机构：中国科学院安光学精密机械研究所陕西西安710119 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2012AA708703A) 中国科学院创新基金资助项目(No.Y154451ZZ0) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2017年第25卷第9期

页      码：2267-2276页

摘      要：为了提高圆分度仪器分度误差的测量精度,介绍了用多面棱体自准直仪测量分度误差的原理和方法,对影响测量结果的误差源进行了分析。根据测量原理建立了多面棱体和自准直仪坐标系,利用坐标变换分别建立了多面棱体工作面与受检仪器轴线的平行差、自准直仪光轴与多面棱体工作面不垂直度误差、自准直仪电十字竖线与受检仪器轴线的平行差对分度误差影响的精确模型。在实验室内,以单轴位置转台的定位精度为测试对象,设计了以上三种位姿失调误差模型的验证实验,实验结果与理论模型仿真结果具有很好的一致性,三种位姿失调引入的误差实测值与理论值的最大偏差小于0.9″,验证了位姿失调量引入测量误差模型的正确性,该模型及仿真结果可以准确指导圆分度误差测试。

主 题 词：角度测量 误差分析 坐标变换 分度误差 多面棱体 自准直仪 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20172509.2267

馆 藏 号：203262258...