大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性

作     者：陈永 焦继伟 王惠泉 金仲和 张颖 熊斌 李昕欣 王跃林 

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信电系杭州310027 

基　　金：国家重点基础研究发展规划资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~ 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2005年第26卷第1期

页      码：148-152页

摘      要：设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低的热噪声 .制作了陀螺芯片 ,并测试了其机械性能和噪声特性 .结果表明 ,该陀螺的噪声谱密度不超过 6 0 μV/Hz,灵敏度为 10mV/(°·s-1) .

主 题 词：陀螺 微机械加工 噪声 滑膜阻尼 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-4926.2005.01.030

馆 藏 号：203263032...