共面微波探针在片测试技术研究

作     者：孙伟 田小建 何炜瑜 张大明 李德辉 衣茂斌 

作者机构：集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林大学长春130023 

基　　金：博士点基金 集成光电子学国家联合重点实验室开放课题项目 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：2001年第29卷第2期

页      码：222-224页

摘      要：本文描述了使用共面微波探针的半导体芯片在片测试技术 .设计研制出的多种微波探针性能参数稳定 ,使用寿命在十万次以上 ,用于在片检测各种GaAs共面集成电路芯片 .触头排列为GSG的微波探针 ,- 3dB带宽及反射损耗分别为 14GHz和小于 - 10dB .

主 题 词：微波探针 在片测试 半导体集成电路 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0372-2112.2001.02.022

馆 藏 号：203263370...