蓝宝石衬底上增透膜的设计与制备

作     者：冯丽萍 刘正堂 李阳平 陈继权 

作者机构：西北工业大学材料科学与工程学院陕西西安710072 

基　　金：国防基础研究计划资助项目(J1500E002) 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2004年第35卷第4期

页      码：498-500页

摘      要：　采用彻底搜索法,在蓝宝石(α Al2O3)衬底上分别设计出了SiO2单层和SiO2/Si双层增透保护膜系。设计结果表明单层及多层增透膜系均可实现蓝宝石中红外波段(3～5μm)的增透。利用射频磁控反应溅射法制备出所设计的增透膜系。结果表明,蓝宝石衬底上镀单层及多层增透膜系后红外透过率明显提高;当蓝宝石衬底双面镀SiO2膜后,在3～5μm波段范围内,平均透过率达到96.43%,比未镀膜时的平均透过率87.01%提高了9.42%,满足了设计使用要求。

主 题 词：蓝宝石 SiO2薄膜 膜系设计 射频磁控反应溅射 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1001-9731.2004.04.034

馆 藏 号：203263568...