远程控制在MOCVD系统中的设计与应用

作     者：胡荣旭 李存志 吴振森 HU Rong-xu;LI Cun-zhi;WU Zhen-sen

作者机构：西安电子科技大学理学院陕西西安710071 

出 版 物：《西安电子科技大学学报》 (Journal of Xidian University)

年 卷 期：2005年第32卷第2期

页      码：253-255页

摘      要：结合传统的工业控制模型和最新的计算机网络技术,给出了基于TCP协议的远程控制模型和工业解决方案,并进一步给出了在研制的生长GaN材料的金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)设备中的应用,经过试用,取得了良好的应用效果.

主 题 词：远程控制 工业控制 TCP 金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD) 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-2400.2005.02.020

馆 藏 号：203265239...