硅片真空传输平台前端真空室的研制

作     者：李学威 鲍君善 路平 何书龙 LI Xue-wei BAO Jun-shan LU Ping HE Shu-long

作者机构：沈阳新松机器人自动化股份有限公司沈阳110168 

基　　金：国家科技重大专项02专项(2014ZX02103005) 

出 版 物：《组合机床与自动化加工技术》 (Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique)

年 卷 期：2017年第9期

页      码：122-124,128页

摘      要：文章设计并研制了8英寸硅片真空传输平台,介绍了该传输平台的整体结构,并对关键模块前端传输腔室VCE中的CTA传输手托盘系统进行了选型设计、机构分析。垂直升降系统采用丝杠传动,CTA传输手采用平面四连杆机构增大刚度。对传输手主动杆强度和变形量进行了有限元仿真分析。经过重复运行精度实验测试,整个平台达到了硅片制造要求。

主 题 词：硅片 真空传输 有限元 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13462/j.cnki.mmtamt.2017.09.031

馆 藏 号：203267503...