尺蠖型压电直线驱动器的动态特性

作     者：赵宏伟 吴博达 华顺明 杨志刚 程光明 曲兴田 ZHAO Hong-wei;WU Bo-da;HUA Shun-ming;YANG Zhi-gang;CHENG Guang-ming;QU Xing-tian

作者机构：吉林大学机械科学与工程学院吉林长春130025 

基　　金：国家"863"计划资助项目(No.2002AA423150) 国家自然科学基金资助项目(No.50475010) 高等学校博士点专项科研基金资助项目(No.20050183020) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2007年第15卷第6期

页      码：873-877页

摘      要：分析了尺蠖型压电直线驱动器的结构原理,建立了驱动器系统动力学模型。对驱动器定子进行了模态分析,并对分析结果进行了评价。对设计开发的驱动器样机输出特性进行了试验测试,实验测得驱动器单步输出位移稳定可靠,100 V驱动电压下,单步输出位移为9.8μm。对驱动器直线动子的速度、加速度特性进行了测试,依据速度、加速度信号进一步分析了驱动器的动态响应特性。实验结果表明,所开发的驱动器具有动态特性好、运动稳定等优点。

主 题 词：压电驱动器 尺蠖运动 精密定位 直线运动 动态特性 

学科分类：080903[080903] 080801[080801] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2007.06.012

馆 藏 号：203270735...