基于半导体光电位置敏感器件厚度检测仪研制

作     者：李田泽 王淑云 张霞 LI Tianze;WANG Shuyun;ZHANG Xia

作者机构：山东理工大学电气与电子工程学院山东淄博255049 

基　　金：国家自然科学基金资助课题(60877050) 山东省教育厅资助项目(J08LJ12) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2010年第31卷第1期

页      码：132-135页

摘      要：首先分析了光线通过薄膜的理论及特点,在此基础上,采用透镜、分束棱镜、滤光片以及新型半导体光电位置敏感器件,设计了一种新型透明体厚度光电检测仪。该仪器中的光学系统设计,采用双光路消漂移方法,消除了光束的漂移等不稳定因素;信号处理电路采用高精度、低温漂放大器等元器件,最大程度地消除了热噪声;对入射光线、被测体、探测器三者之间的相对位置进行了最优化设计。最后,对该仪器的结构、特点以及产生的误差进行了分析,给出了几个重要结论。

主 题 词：位置敏感探测器 双光路消漂移 低温漂放大器 

学科分类：080904[080904] 0810[工学-土木类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 081001[081001] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2010.01.033

馆 藏 号：203271787...