浅谈12英寸集成电路芯片制造用水清洁生产指标的确定

作     者：肖劲戈 

作者机构：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司四川成都610021 

出 版 物：《中国西部科技》 (Science and Technology of West China)

年 卷 期：2011年第10卷第10期

页      码：1-4页

摘      要：对于代表目前集成电路制造最高水平的12英寸生产线,其清洁生产指标的确定往往由于所处行业的高速发展,目前尚处于一个积累经验和探索发展的阶段而成为一个难点。本文拟笔者在对该类项目设计和环评实际工作的基础上,以一个在建的典型的12英寸生产线为案例,通过制作全厂水量平衡图,分析其用水特点与节水措施,就如何确定清洁生产指标进行了探讨。

主 题 词：集成电路 芯片 清洁生产 节水 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-6396.2011.10.001

馆 藏 号：203272236...