耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪

作     者：赵美蓉 陆伯印 贾果欣 Zhao Meirong Lu Boyin Jia Guoxin (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University)

作者机构：天津大学 

出 版 物：《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University(Science and Technology))

年 卷 期：1999年第32卷第6期

页      码：665-667页

摘      要：介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用，该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”．其结构简洁紧凑，性能稳定，光路布局对称性好，不存在死光程，光程差倍增，容易装调，符合阿贝原则和结构变形最小原则，在１０ｍｍ （可以扩展至５０ ｍ ｍ ）测量范围内，获得了λ／８００ 的分辨力和纳米级的测量精度．

主 题 词：纳米计量 位移测量 激光干涉仪 纳米级精度 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

馆 藏 号：203272352...