MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试

作     者：王伟忠 赵玉龙 林启敬 WANG Wei-zhong;ZHAO Yu-long;LIN Qi-jing

作者机构：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z325) 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724405) 国家自然科学基金资助项目(60776048) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第9卷第3期

页      码：199-202页

摘      要：设计了一种基于压阻效应的微机电系统(MEMS)三维微力探针传感器并对其进行了性能测试.传感器传感单元采用四梁支撑结构,接触探针采用台阶式石英光纤,使传感器的抗干扰能力和灵敏度得到了显著的提高.设计了传感器的过载保护单元,传感器整体尺寸为4 mm×4 mm×16 mm.利用三维超精密定位平台与分析天平搭建传感器测试平台,对三维微力传感器进行性能测试.测试结果表明,该传感器灵敏度优于0.010 6 mV/μN,分辨率优于3μN,非线性误差优于传感器满量程的0.94%.因此,该传感器具有体积小、成本低、灵敏度高、抗干扰能力强、线性好、分辨率高的特点,在微力测试领域拥有广阔的应用前景.

主 题 词：MEMS传感器 三维微力 探针 性能测试 

学科分类：0817[工学-轻工类] 080202[080202] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.003

馆 藏 号：203272536...