基于PWM控制方式的射频离子源送气系统设计

作     者：卜英南 雷光玖 张贤明 李明 BU Ying-nan;LEI Guang-jiu;ZHANG Xian-ming;LI Ming

作者机构：核工业西南物理研究院聚变科学所四川成都610041 

出 版 物：《测控技术》 (Measurement & Control Technology)

年 卷 期：2013年第32卷第8期

页      码：87-90页

摘      要：针对射频离子源实验对放电室气压精确控制的要求,提出了基于PWM控制方式的送气系统设计方案。结合真空系统的数学方程,利用Matlab-Simulink工具对PWM控制方式的送气过程进行仿真和分析,验证该控制方式的可行性。该送气系统以数字信号控制器为核心控制单元,采用前馈补偿和气压反馈PID控制策略,通过调节PWM占空比控制送气流量,以实现对离子源放电室气压的有效控制。实验结果显示了PWM控制方式能够对气压进行精确控制,基于该控制方式的送气系统能够满足射频离子源放电实验要求。

主 题 词：气压控制 射频离子源 PWM控制方式 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-8829.2013.08.022

馆 藏 号：203273407...