双极性脉冲UMS电源的研究

作     者：陈桂涛 孙天乐 孙强 CHEN Gui-tao;SUN Tian-le;SUN Qiang

作者机构：西安理工大学自动化与信息工程学院陕西西安710048 

基　　金：陕西省科技厅产业化项目(2011K09-05)~~ 

出 版 物：《电力电子技术》 (Power Electronics)

年 卷 期：2013年第47卷第11期

页      码：86-88页

摘      要：研制了一台高性能双极性脉冲非平衡磁控溅射(MS)电源。该电源以FPGA为控制系统核心,采用交变脉冲单元实现双极性脉冲输出,并针对脉冲条件下的等离子体负载特性及MS工艺需求,设计了负载匹配电路、多级电弧管理策略和数字脉冲复合调制(DPCM)策略。搭建一台10 kW样机并进行了测试,结果表明该电源具备多变量脉冲输出特性及良好的电弧管理能力,为MS工艺的研究与探索提供了重要的技术支撑。

主 题 词：电源 磁控溅射 复合调制 电弧管理 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-100X.2013.11.032

馆 藏 号：203273494...