基于专家系统技术的MEMS虚拟工艺库

作     者：李亚威 赵新 任亮 卢桂章 

作者机构：南开大学机器人与信息自动化研究所天津300071 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(69985006 60173061) 国家十五863计划资助项目(2002AA422200 2002AA431030) 国家973计划资助项目(G1999033109) 教育部高等学校骨干教师计划资助项目(582583) 天津市自然科学基金资助项目(023800211 013600411) 

出 版 物：《信息与控制》 (Information and Control)

年 卷 期：2004年第33卷第1期

页      码：52-55,60页

摘      要：虚拟工艺是MEMS器件计算机辅助设计中对工艺过程仿真的部分 ,根据版图设计、层定义和工艺文件来生成器件模型 ,并进行三维模型显示 .本文在虚拟工艺库中引入了专家系统的技术 ,将已有的工艺知识分别描述成专家系统知识库中的规则 ,推理机部分与知识库分离 ,使系统有较好的可扩充性 .本文给出了一个剖面图的实例 ,证明其可行性 .

主 题 词：专家系统 MEMS 虚拟工艺库 计算机辅助设计 微电子机械系统 

学科分类：080903[080903] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 0809[工学-计算机类] 081104[081104] 08[工学] 0835[0835] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-0411.2004.01.012

馆 藏 号：203275151...