Mo/Al/Mo结构电极的坡度角和关键尺寸差研究

作     者：刘丹 秦刚 蔡卫超 王百强 周禹 饶毅 李晨雨 刘涛 段海洋 樊根瑞 吕俊君 LIU Dan;QIN Gang;CAI Wei-chao;WANG Bai-qiang;ZHOU Yu;RAO Yi;LI Chen-yu;LIU Tao;DUAN Hai-yang;FAN gen-rui;LV jun-jun

作者机构：重庆京东方光电科技有限公司光刻工程部重庆400700 

出 版 物：《液晶与显示》 (Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays)

年 卷 期：2017年第32卷第11期

页      码：877-885页

摘      要：Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极,刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数,进而控制坡度角和关键尺寸差,这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响,并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明:Al膜厚每减小60nm,坡度角下降约9°,关键尺寸差增加0.1μm。曝光工艺中,显影后烘烤会增加光阻粘附力,导致关键尺寸差减小0.1μm,同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中,过刻量每增加10%,坡度角下降3.3°,关键尺寸差增加0.14μm;正交试验结果表明,对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是:液刀流量>Air Plasma电压>水刀流量。经上述探究表明,坡度角和关键尺寸差呈负相关关系,刻蚀程度增加,关键尺寸差增加,而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。

主 题 词：Mo/Al/Mo电极 坡度角 关键尺寸差 正交试验 

学科分类：0810[工学-土木类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 081203[081203] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0835[0835] 0702[理学-物理学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/YJYXS20173211.0877

馆 藏 号：203277771...