小腔体器件内部气氛检测试验夹具优化研究

作     者：谭骁洪 邱盛 罗俊 黄姣英 邢宗锋 李晓红 邓永芳 TAN Xiao-hong;QIU Sheng;LUO Jun;HUANG Jiao-ying;XING Zong-feng;LI Xiao-hong;DENG Yong-fang

作者机构：中国电子科技集团公司第二十四研究所重庆400060 北京航空航天大学北京100089 

出 版 物：《环境技术》 (Environmental Technology)

年 卷 期：2017年第35卷第4期

页      码：143-146页

摘      要：简要介绍了小腔体器件内部气氛检测结果的主要影响因素,研究分析了当前小腔体器件内部气氛检测试验夹具存在的缺陷,明确提出了小腔体器件内部气氛检测试验夹具的优化思路和设计模型,提高了试验结果的准确性和稳定性。

主 题 词：小腔体器件 内部气氛检测 夹具优化 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-7204.2017.04.040

馆 藏 号：203277797...