用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制

作     者：鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣 杨进 Lu Sen;Yang Kaiming;Zhu Yu;Wang Leijie;Zhang Ming;Yang Jin

作者机构：清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室北京100084 清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084 东风商用车技术中心基础技术研究室湖北武汉430056 

基　　金：国家科技重大专项"磁悬浮工件台关键技术研究"(2012ZX02702-006) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2017年第37卷第10期

页      码：202-210页

摘      要：扫描干涉场曝光(SBIL)系统中曝光效果与工件台的运动性能密切相关。为了制作纳米精度的大面积平面光栅,工件台采用了粗微叠层结构设计,其中微动台是实现工件台运动精度的关键。基于SBIL原理,推导了干涉条纹周期测量精度与曝光对比度的关系。针对移动分光镜测量干涉条纹周期的方法,结合周期测量精度需求,分析了微动台定位精度指标,提出了实现微动台x、y、θz三个自由度定位精度的控制器设计方法,并在微动台系统上进行了实验验证。结果表明,微动台x方向定位精度可达±1.51nm,y方向定位精度可达±5.46nm,θz定位精度可达±0.02μrad,可以满足SBIL的需求和干涉条纹周期测量的精度要求。

主 题 词：测量 扫描干涉场曝光 微动台 条纹周期测量精度 相位锁定 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS201737.1012006

馆 藏 号：203277811...