三维混合集成M-Z光波导传感器的设计

作     者：孙月 曹悦 郑尧 刘豫 衣云骥 张大明 SUN Yue;CAO Yue;ZHENG Yao;LIU Yu;YI Yunji;ZHANG Daming

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院长春130012 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61605057 61575076) 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20130061120060) 吉林省优秀青年基金资助项目(20170520158JH) 大学生创新计划资助项目(2016A51179) 

出 版 物：《中国科技论文》 (China Sciencepaper)

年 卷 期：2017年第12卷第14期

页      码：1617-1620页

摘      要：设计了基于聚合物材料与无机材料三维混合集成的马赫增德尔(M-Z)光波导传感器,从结构和材料方面提升器件性能。分析器件结构两臂的光波导模式特性,采用有效折射率法得出传感精度曲线,优化波导尺寸为2μm×2μm(长×宽),使其传感精度相比平面结构提升2~3倍,光束传播法模拟光场分布,模拟传感长度差为100~3 000μm时的器件输出曲线。利用多材料混合集成,通过温度控制器件的传感区间,可解决精度退化问题。

主 题 词：微电子学与固体电子学 传感器 光波导 有效折射率法 混合集成 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.2095-2783.2017.14.009

馆 藏 号：203277856...