基于甲烷气体红外吸收特性窄带滤波器的研究

作     者：熊仕富 付秀华 刘冬梅 张静 XIONG Shi-fu;FU Xiu-hua;LIU Dong-mei;ZHANG Jing

作者机构：长春理工大学光电工程学院长春130022 

基　　金：吉林省重大科技攻关专项(No.20140203002GX)资助~~ 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2017年第46卷第10期

页      码：74-80页

摘      要：根据气体探测系统灵敏度的要求,基于甲烷气体红外吸收光谱特性,结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用"拆分技术"对气体滤波器进行膜系结构设计,降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜,根据测试结果逆向分析,优化工艺参数.所研制的滤波器在7.669μm波长处峰值透过率达到85.14%,通带半宽度为59nm,覆盖了甲烷气体吸收区域,截止区达到了OD3,很好地抑制了背景噪声.

主 题 词：光学薄膜 窄带滤波器 拆分技术 气体泄漏 探测与识别 灵敏度 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20174610.1014011

馆 藏 号：203277876...