基于亚波长高对比度光栅的波前调控器设计

作     者：武华 彭莉 袁寿财 张文博 刘巧莉 董建 WU Hua;PENG Li;YUAN Shou-cai;ZHANG Wen-bo;LIU Qiao-li;DONG Jian

作者机构：赣南师范大学物理与电子信息学院江西赣州341000 北京工业大学电子科学与技术学院光子器件研究实验室北京100124 

基　　金：国家自然科学基金(No.61650404) 江西省教育厅科技项目(GJJ150998) 赣南师范大学校级科研课题(Nos.13kyz12 16zb04)资助~~ 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2017年第46卷第10期

页      码：87-92页

摘      要：基于严格耦合波分析法分析了亚波长光栅波前调控的方法,设计了具有凸透镜、锥透镜和闪耀光栅功能的三种亚波长光栅结构,以平面方式制备了具有聚焦和闪耀效果的三种微纳结构波前调控器.计算了不同光栅厚度、光栅齿和光栅槽宽度下的光栅透射率,通过选择合适光栅参数组合,得到三种波前调控器透射率均在97%以上.硅基平面结构与常规结构器件性能相比,平面和常规透镜、锥透镜在聚焦效果上,焦斑的半高全宽近似相等,峰值强度提高了1.64和2.35倍;平面相对常规闪耀光栅的峰值强度提高了3.77倍.

主 题 词：亚波长高对比度光栅 波前调控器 透镜 微光学 严格耦合波分析 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20174610.1014013

馆 藏 号：203277895...