S波段窄带带通体声波滤波器设计

作     者：高杨 赵坤丽 韩超 Gao Yang;Zhao Kunli;Han Chao

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室北京100049 西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 

基　　金：国家自然科学基金项目(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14ZXTK01) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2017年第29卷第11期

页      码：95-101页

摘      要：针对无人机测控应用设计了一种S波段窄带带通体声波(BAW)滤波器,其技术指标为:中心频率2.46 GHz,带宽41 MHz,带内插损大于-3 d B,带内纹波小于1 d B,带外抑制小于-40 d B@2.385 GHz和2.506 GHz。采用Mason模型设计了BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器(FBAR)的叠层结构;使用变迹法设计了各FBAR(电极)的形状;采用一种自行开发的自动布局方法得到紧凑的BAW滤波器布局;建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型,通过这种高保真的多物理场仿真方法对设计结果进行了性能验证。该设计流程是通用的,并且有两个特点:采用声-电磁协同仿真方法对设计阶段的BAW滤波器进行最终性能检验,可以及早发现并拒绝1D Mason模型过于乐观的设计;滤波器布局设计中采用了一种新的自动化布局方法,大大简化了在此阶段的反复尝试工作,也为声-电磁协同仿真模型输出了必需的面内结构信息。

主 题 词：体声波 滤波器 薄膜体声波谐振器 变迹电极 声-电磁协同仿真 布局 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080902[080902] 08[工学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11884/HPLPB201729.170195

馆 藏 号：203278443...