利用XPS平行成像技术进行材料表面微区分析

作     者：徐建 郝萍 周莹 Xü Jian;Hao Ping;Zhou Ying

作者机构：上海市计量测试技术研究院 

基　　金：上海市质量技术监督局科研项目(2015-03) 

出 版 物：《上海计量测试》 (Shanghai Measurement and Testing)

年 卷 期：2017年第44卷第5期

页      码：9-12页

摘      要：利用XPS能谱分析结合平行成像技术,在功能器件等材料微区测量方面进行了一些探索,并选取了三类比较有代表性样品,通过设计合理的方法分别对其表面微区进行了有效测量,获得较好的测量结果。

主 题 词：XPS分析 平行成像技术 表面微区分析 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-2235.2017.05.003

馆 藏 号：203278536...