中温化学气相沉积(MTCVD)工艺技术及超级涂层材料的研究

作     者：李建平 高见 曾祥才 马文存 

作者机构：成都工具研究所涂层中心 成都工具研究所 

出 版 物：《工具技术》 (Tool Engineering)

年 卷 期：2004年第38卷第9期

页      码：72-75页

摘      要：采用MT CVD工艺技术 ,用CH3 CN等含有C/N原子团的有机化合物 ,在 70 0～ 90 0℃沉积组织致密、层间结合强度好、柱状结晶的超级TiCN涂层。研究了沉积温度、压力、不同气体流量等工艺参数对TiCN涂层组织结构及性能的影响规律 ;分析了超级涂层材料设计机理和结构 ,给出了在经过改造的高温化学气相沉积 (HT CVD)设备上应用HT CVD和MT

主 题 词：涂层材料 CVD TiCN涂层 中温 硬质合金刀片 化学气相沉积 工艺参数 工艺技术 结晶 研究 

学科分类：02[经济学] 0202[经济学-财政学类] 020204[020204] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-7008.2004.09.016

馆 藏 号：203278955...