微尺度下新型MEMS滤波器的研究

作     者：赵继德 李应良 马传龙 ZHAO Ji-de;LI Ying-liang;MA Chuan-long

作者机构：烟台师范学院烟台264025 华信邮电咨询设计研究院有限公司杭州310014 重庆通信学院重庆400039 

出 版 物：《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期：2005年第29卷第6期

页      码：632-635页

摘      要：分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应。在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据。若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验。

主 题 词：微尺度 微机械技术 滤波器 共面波导 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3806.2005.06.030

馆 藏 号：203279336...