基于PSD的微摆镜角度自准直测试系统设计

作     者：何玉婷 米凤文 金伟其 刘明奇 胡亮亮 HE Yuting;MI Fengwen;JIN Weiqi;LIU Mingqi;HU Liangliang

作者机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室北京100081 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2017年第43卷第6期

页      码：561-565页

摘      要：基于压电陶瓷的微摆镜是一种典型的二维角驱动部件,微摆镜系统的实用化需要进行微角度的测量,以便得到驱动电压与微偏转角之间的对应关系。设计了一种基于位置敏感探测器(PSD)的微摆镜角度测试系统,应用激光自准直原理,采用两次45°折返式结构,缩小了系统的体积并解决了传统折返式系统难以精准搭建的问题;采用多层前馈神经网络法对PSD进行了非线性校正,修正后整个系统的测量精度可达0.5″,测量范围为±400″。符合微摆镜角度测量的要求。

主 题 词：位置敏感探测器(PSD) 微摆镜 角度测量 自准直 折返式结构 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2017.06.017

馆 藏 号：203279878...