多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究

作     者：马博 田文杰 赵庆江 陈福彬 雷欧 MA Bo;TIAN Wenjie;ZHAO Qingjiang;CHEN Fubin;LEI Ou

作者机构：北京信息科技科技大学传感器重点实验室北京100101 昆明学院物理科学与技术系云南昆明650214 

基　　金：北京市自然科学基金资助项目(4122030) 北京市自然科学基金重点资助项目(B类KZ201511232037) 北京市教育委员会科技计划基金资助项目(KM201511232022) 现代控制技术教育部重点实验室(北京信息科技大学)基金资助项目 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2017年第39卷第6期

页      码：865-868页

摘      要：在分析石英晶片受力作用时晶片内应力分布的基础上,设计了一种多电极新型石英力敏谐振器及信号处理电路。在室温及大气状态下对设计的力敏谐振器同时进行激励时,各对电极对应的谐振器的力-频特性线性度及频率稳定性良好。将各谐振器的频率互作差频,再作叠加处理后,输出的频率信号的力-频系数达到2 951.8Hz/N,线性相关度为0.999 7,频率稳定性可达10-10数量级。

主 题 词：多电极石英谐振器 力敏特性 频率稳定性 

学科分类：080903[080903] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

馆 藏 号：203280010...