高分辨率压电陶瓷微位移检测电路设计与实现

作     者：张泉 尹达一 李清灵 ZHANG Quan;YIN Dayi;LI Qingling

作者机构：中国科学院大学北京100039 中国科学院上海技术物理研究所上海200083 中国科学院红外探测与成像技术重点实验室上海200083 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(40776100) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2017年第39卷第6期

页      码：903-906页

摘      要：为提高压电驱动的大口径快摆镜控制精度,采用了电阻式应变传感器(SGS)和基于锁定放大信号调理方法来检测压电执行器微位移,该微位移检测电路包括集成在压电内部的电阻式SGS,前端信号调制放大电路、带通滤波去噪电路、相敏解调电路和低通滤波电路等,最后搭建系统验证并利用小波分解重构的方法对微位移信号进行噪声分析。试验结果表明,该系统检测的压电执行器微位移信号良好,噪声满足实际工程中压电陶瓷(PZT)执行器的24nm位置分辨率的要求。

主 题 词：压电陶瓷(PZT)执行器 应变传感器(SGS) 微位移 锁定放大 小波噪声分析 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203280054...