一种提高光学干涉系统稳定性的装置

作     者：肖青 傅谦 张大龙 刘侠 张大鹏 王兴龙 Qing Xiao;Qian Fu;Dalong Zhang;Xia Liu;Dapeng Zhang;Xinglong Wang

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2017年第44卷第11期

页      码：1089-1093页

摘      要：基于光学干涉的测量方法,通常都有高精度、高灵敏度的特点,信号易受环境干扰而不稳定,使用时须远离振源。若要将光学干涉系统用于在线检测,必须提高其抗干扰性。本文在以前的工作基础上,从干涉光路的实现方式着手,制作了一套一体化的迈克尔逊干涉装置,可用于多层光学平片的厚度检测。该装置通过巧妙的设计和高精密加工,使整个光路结构为一整体,避免了测量过程中外界干扰的影响。通过与光纤式迈克尔逊干涉系统做实验对比,验证了该装置在测试过程中有良好的稳定性和抗干扰性。最后采用宽带光源干涉的方法对多层光学平片的厚度进行测量,验证了该装置用于精密在线测量的可行性。

主 题 词：光学器件 在线检测 光学干涉 抗干扰 厚度检测 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501X.2017.11.008

馆 藏 号：203280344...