特殊气体供应系统概述

作     者：李全朕 

作者机构：京东方科技集团股份有限公司 

出 版 物：《电子世界》 (Electronics World)

年 卷 期：2017年第23期

页      码：69-70页

摘      要：随着半导体芯片、太阳能光伏、液晶面板产业的发展,生产使用的特殊气体种类不断增加,气体供应系统愈发复杂。特殊气体已经成为工厂内危险系数最高的因子,在这里我们根据特气不同的物理、化学性质进行了分类和讨论,进而对特种气体供应系统的规划、设计、设备选型及其安全管理进行了阐述,并且工厂内有着重要作用的气柜设计进行了探讨。

主 题 词：特殊气体 气体供应 系统设计 安全管理 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.19353/j.cnki.dzsj.2017.23.030

馆 藏 号：203280389...