一种大量程压力传感器的结构优化设计与仿真分析

作     者：聂萌 杨恒山 NIE Meng , YANG Hengshan

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

基　　金：国家科技支撑项目(2015BAF16B01) 国家自然科学基金项目(61474023) 江苏高校品牌专业建设工程项目 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2017年第30卷第12期

页      码：1834-1838页

摘      要：设计了一种大量程硅压阻式压力传感器,通过理论模型分析优化传感器结构尺寸,保证薄膜的线性变化和抗过载能力;并通过有限元建模分析可动薄膜位移及应力随压力变化关系,对结构进行优化设计;同时用有限元仿真验证理论分析的正确性。通过理论与仿真优化分析,提出了采用C型膜片一体化硅压阻式压力传感器结构,可动薄膜选用方膜边长为1 000μm,厚度为50μm,实现0~2 MPa的压力测量。

主 题 词：压力传感器 大量程 线性 抗过载 有限元分析 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.009

馆 藏 号：203280488...