基于有限元和正交试验法的CVD感应加热器数值模拟及优化

作     者：卢钦强 李其仲 张显 章嵩 涂溶 LU Qinqiang;LI Qizhong;ZHANG Xian;ZHANG Song;TU Rong

作者机构：武汉理工大学现代汽车零部件技术湖北省重点实验室湖北武汉430070 武汉理工大学汽车零部件技术湖北省协同创新中心湖北武汉430070 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室湖北武汉430070 

出 版 物：《热加工工艺》 (Hot Working Technology)

年 卷 期：2017年第46卷第22期

页      码：82-86,91页

摘      要：通过有限元数值模拟软件与正交试验设计相结合的方法对CVD设备反应室的温度场进行优化。研究了激励电流、电流频率、线圈匝数、线圈间距和加热时间对沉积石墨管温度场的影响。引入平均温度、温度标准差及变异系数指标,采用5因素5水平的正交试验法来设计参数组合进行有限元模拟。通过极差分析和方差分析确定影响石墨管的温度、温度方差及变异系数指标的主次因素,确定最优值。最后对最优的感应加热参数进行模拟验证。结果表明:优化后的温度均匀性获得改善。同时,模拟次数大量减少,提高了优化效率。

主 题 词：有限元 正交试验 感应加热 参数优化 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.14158/j.cnki.1001-3814.2017.22.020

馆 藏 号：203280588...