中科院自动化所实现大口径光学元件表面微粒在线检测

作者机构：中科院自动化所 

出 版 物：《分析仪器》 (Analytical Instrumentation)

年 卷 期：2017年第6期

页      码：163-163页

摘      要：近日，中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心研究员徐德、张正涛在IJAC第4期发表了研究论文An Effective On—line Surface Particles Inspection Instrument for Large Aperture Optical Element。文章介绍了最新设计的一款新型紧凑检测仪，可用于快速检测LAOE表面的微粒污染，该仪器携带方便，实现在线检测。

主 题 词：自动化研究所 在线检测 微粒污染 大口径光学元件 表面 中科院 Surface Optical 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203280789...