微型压电能量采集器的仿真、制造与测试

作     者：孙健 李以贵 刘景全 杨春生 何丹农 SUN Jian;LI Yigui;LIU Jingquan;YANG Chunsheng;HE Dannong

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 纳米技术及应用国家工程研究中心上海200241 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60777016) 航空重点实验室基金资助项目(20080857002) 科技部国际合作项目基金资助项目(2009DFB10330) 上海市科委基金资助项目(08230705500) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2010年第32卷第6期

页      码：981-984页

摘      要：理论分析得到微悬臂梁式压电能量采集器的设计准则。采用一种新颖的制造工艺,将高性能压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)块材与硅片在540℃高温下键合1 h后,减薄并切割成形成压电悬臂梁。使用ANSYS软件进行仿真,得到了器件的固有频率、尖端位移和电压输出的频率响应。设计一套振动能量采集器测试装置,并对器件进行测试。测试结果表明,所制得的器件固有频率为2 580 Hz,在10 m/s2的正弦加速度激励下,其输出峰-峰值电压达1.58 V,测试结果与仿真分析基本吻合。

主 题 词：悬臂梁 压电 能量采集器 键合 固有频率 

学科分类：080903[080903] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2010.06.024

馆 藏 号：203280919...