MPCVD实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响

作     者：鲁占灵 赵瑞霞 姚宁 杨仕娥 张兵临 LU Zhan-ling;ZHAO Rui-xia;YAO Ning;YANG Shi-e;ZHANG Bing-lin

作者机构：郑州大学材料物理教育部重点实验室 河南建筑职工大学河南郑州450052 

基　　金：教育部科学技术研究重点项目(205091) 

出 版 物：《郑州大学学报（工学版）》 (Journal of Zhengzhou University（Engineering Science）)

年 卷 期：2005年第26卷第3期

页      码：61-64页

摘      要：通过正交设计试验法研究了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响.结果表明,当微波功率为1 500 W、反应气压为8.5 kPa、甲烷、氮气和氢气的流量比为8:20:80时,制备的碳氮纳米管薄膜场发射特性最好,其开启电场强度为3.2 V/μm,电场强度为8.0V/μm时的电流密度为3.5 mA/cm2.

主 题 词：正交设计 碳氮纳米管 场发射 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-6833.2005.03.016

馆 藏 号：203281554...