集成电路制造的超洁净工程分析

作     者：秦建东 李玲 QIN Jiandong;LI Ling

作者机构：河南大学环境与规划学院河南475001 

基　　金：河南省科技型中小企业技术创新资金(10C26214104491) 

出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)

年 卷 期：2018年第35卷第1期

页      码：58-61页

摘      要：洁净室工程始于业主新建厂房计划,在业主确定建厂计划后,会联系具有设计资质的设计商为工厂做整体设计方案,由于洁净室工程在厂房建设中处于重要地位,故在工程设计的过程中设计方会和业主反复沟通,确定洁净厂房的建造方案和技术标准。

主 题 词：集成电路制造 晶圆厂 Fab 超洁净工厂 

学科分类：080903[080903] 0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 020205[020205] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19339/j.issn.1674-2583.2018.01.015

馆 藏 号：203281789...