热电式MEMS微波功率传感器模型的研究

作     者：张焕卿 白雪婧 王德波 Zhang Huanqing;Bai Xuejing;Wang Debo

作者机构：南京邮电大学电子科学与工程学院 

基　　金：国家青年自然科学基金(61704086) 江苏省青年自然科学基金(BK20140890) 南京邮电大学国自基金孵化(NY215139,NY217039)项目资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2018年第39卷第8期

页      码：110-117页

摘      要：为了提高热电式微机电系统（MEMS）微波功率传感器的灵敏度特性,建立了噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型。根据理论解析模型,分析得到了影响噪声系数、时间常数的首要因素、次要因素;然后,探究了噪声系数和时间常数对灵敏度特性的制约;最终,发现制约热电式MEMS微波功率传感器灵敏度特性的两个关键结构参数：热电偶的长度和数目。依据所建立的理论解析模型,设计了一种渐变结构的热电式MEMS微波功率传感器,实验表明该传感器在8-12 GHz频率范围的回波损耗在-22^-19 dB,具有较好的匹配特性。系统灵敏度分别为0.23 mV/mW@8 GHz、0.22 mV/mW@10 GHz、0.21 mV/mW@12 GHz,较与传统结构的灵敏度特性有了较大改善。因此,所建立的噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型对于研究热电式MEMS微波功率传感器具有一定的参考价值和指导意义。

主 题 词：微机电系统 功率传感器 灵敏度 理论模型 渐变结构 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0703[理学-化学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.j1702306

馆 藏 号：203281798...