溅射薄膜压强传感器

出 版 物：《军民两用技术与产品》 (Dual Use Technologies & Products)

年 卷 期：2017年第23期

页      码：36-37页

摘      要：技术开发单位中国航天科技集团公司航天动力技术研究院陕西电器研究所技术简介溅射薄膜压强传感器主要涉及溅射薄膜压强传感器敏感结构设计、金属纳米薄膜敏感芯体批量生产工艺及多功能智能信号处理技术等技术,其核心是敏感器件结构设计及其离子束溅射成型工艺.离子束溅射是采用低能加速器轰击,

主 题 词：压强传感器 溅射薄膜 中国航天科技集团公司 离子束溅射 动力技术 信号处理技术 敏感器件 结构设计 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203281912...