MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展

作     者：李俊红 马军 魏建辉 任伟 LI Junhong;MA Jun;WEI Jianhui;REN Wei

作者机构：中国科学院声学研究所北京100190 

基　　金：国家自然科学基金项目(11074274 11174319 11474304) 

出 版 物：《应用声学》 (Journal of Applied Acoustics)

年 卷 期：2018年第37卷第1期

页      码：101-105页

摘      要：基于微电子机械系统制造技术的MEMS压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点。对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为-192 d B(ref.1 V/μPa),基本达到实用化的要求。MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 d B(ref.1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 d B,但还未达到实用化要求。为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度。

主 题 词：微电子机械系统 水听器 ZnO薄膜 灵敏度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.11684/j.issn.1000-310X.2018.01.016

馆 藏 号：203282145...