薄膜工艺制造误差对电路性能的影响

作     者：贾世旺 梁广华 刘巍巍 邢伯仑 JIA Shiwang;LIANG Guanghua;LIU Weiwei;XING Bolun

作者机构：中国电子科技集团公司第五十四研究所河北石家庄050081 河北诺亚人力资源开发有限公司河北石家庄050035 

出 版 物：《无线电工程》 (Radio Engineering)

年 卷 期：2018年第48卷第2期

页      码：138-143页

摘      要：薄膜工艺具有加工高精度图形的能力,广泛应用于微波毫米波电路中。在设计薄膜滤波器等无源电路时,为了降低分析、计算难度,常采用理想模型,未考虑工艺制造误差及材料特性等影响,造成了实测值与计算结果有一定偏差。为了提高薄膜电路设计的准确性,对设备、人员相对稳定的薄膜工艺线各主要工序制造误差进行分析,通过大量实测数据,统计出了该工艺线制造误差范围,常规线宽偏差±4.5μm以内,关键线宽可控制在±2.0μm以内,线条厚度误差±20%以内。根据工艺制造能力,构建电路的三维多参数仿真模型,与理想模型进行对照,给出了薄膜工艺制造误差对滤波器电性能的影响,为今后准确设计滤波器等无源电路提供了有力的指导。应用结果表明,多参数模型与实测结果更为接近。

主 题 词：薄膜 误差 正态分布 回归方程 滤波器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-3106.2018.02.12

馆 藏 号：203282155...