基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制

作     者：匡尚奇 张超 李硕 杨海贵 霍同林 周洪军 KUANG Shang-qi1 , ZHANG Chao2 , LI Shuo1 , YANG Hai-gui2 , HUO Tong-lin3, ZHOU Hong-juna

作者机构：长春理工大学理学院长春130022 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室长春130033 中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029 

基　　金：国家自然科学基金青年基金(No.61405189) 吉林省科技发展计划(Nos.20150101019JC 20170312024ZG)资助~~ 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2018年第47卷第4期

页      码：46-54页

摘      要：提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统中的膜厚高精度控制的问题.依据量子遗传算法的膜系设计结果采用磁控溅射镀膜系统镀制宽带极紫外多层膜.测试结果表明,宽角度极紫外多层膜的入射角为0°~15°,反射率达45%以上;宽光谱极紫外多层膜的入射波长为13~15nm,反射率达20%以上.相关研究工作为宽带极紫外多层膜的研发提供了另一种可供选择的且较优的搜索优化算法,同时该算法结合实验,实现膜厚的离散化设计,使镀制出的多层膜具有较好的光谱性能.

主 题 词：光学多层膜 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多层膜 离散化设计 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20184704.0431001

馆 藏 号：203282381...