异型热管反应器硅烷分解过程流场的数值模拟

作     者：王晓静 马东云 Wang Xiaojing;Ma Dongyun

作者机构：天津大学化工学院天津300350 

基　　金：天津市自然科学基金资助项目(13JCZDJC27200)~~ 

出 版 物：《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 (Journal of Tianjin University：Science and Technology)

年 卷 期：2018年第51卷第3期

页      码：278-283页

摘      要：基于异型热管传热机理,设计出一套适用于硅烷法生产电子级高纯多晶硅的反应器,利用Fluent软件对反应器内流场进行了研究.结果表明:反应器内温度场比较均匀,异型热管的加入改善了温度分布,各截面温度随进料气进口速度增加而降低,进口速度由10,m/s提高到50,m/s,反应器内温度降低了4.64%;各截面温度随硅棒增粗而逐渐升高,硅棒从60,mm增粗至140,mm,反应器内温度升高了9.44%,;反应器内各截面硅烷浓度大致保持均匀,各截面硅烷浓度随进料气进口速度增加,随硅棒增粗而降低;硅棒表面沉积速率随进料气进口速度增加而提高,随硅棒增粗而降低.

主 题 词：多晶硅 硅烷分解 反应器 流场 数值模拟 

学科分类：080702[080702] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

核心收录：

D　O　I：10.11784/tdxbz201703081

馆 藏 号：203282540...