单晶硅线切割液润滑性能的研究

作     者：宋扬扬 张晨晖 张瑞 吴珉 刘军 SONG Yang-yang;ZHANG Chen-hun;ZHANG Rui;WU Min;LIU Jun

作者机构：陕西省石油化工研究设计院陕西西安710054 

基　　金：陕西省科技统筹项目(No.2016KTZDGY09-09) 

出 版 物：《化学工程师》 (Chemical Engineer)

年 卷 期：2018年第32卷第1期

页      码：65-67页

摘      要：重点研究了单晶硅片切割用水基切割液中润滑剂的摩擦性能影响因素。研究了不同种类水基润滑剂的摩擦学性能。结果表明:在使用自制植物油改性润滑剂,使用浓度为万分之七的情况下,具备优异的润滑性能。

主 题 词：切割液 润滑性能 线切割 植物油改性润滑剂 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.16247/j.cnki.23-1171/tq.20180165

馆 藏 号：203282637...