MEMS陀螺器件与驱动电路的相位关系研究

作     者：陈华 郭桂良 阎跃鹏 来强涛 韩荆宇 CHEN Hua;GUO Guiliang;YAN Yuepeng;LAI Qiangtao;HAN Jingyu

作者机构：中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61234007) 

出 版 物：《现代电子技术》 (Modern Electronics Technique)

年 卷 期：2018年第41卷第6期

页      码：100-103,108页

摘      要：为了指导高性能MEMS陀螺的驱动电路设计,针对MEMS陀螺器件与外围驱动电路之间存在的"激励电压、静电力、质量块位移、检测电容变化、检测电流、检测电压"五次信号转换进行了详细研究,获得了确切的相位关系,建立传输函数模型。最终根据推得的总体相位关系,设计并实现了一款基于锁相技术的闭环驱动电路。测试结果表明,MEMS陀螺系统能在3s内可靠起振且无振铃,稳定振荡频率为10.33 kHz,稳定振荡幅度为2.05 V。该测试结果验证了此相位关系研究的必要性与正确性,此研究同样适用于其他静电驱动、电容检测式MEMS传感器。

主 题 词：MEMS传感器 MEMS陀螺 驱动电路 接口电路 相位关系 锁相环 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.16652/j.issn.1004-373x.2018.06.024

馆 藏 号：203283895...